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第92章 这,这是刻蚀工艺?

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么惊讶吗?”顾鸣有些莫名其妙地看向桌上的稿纸。

这不看不要紧,一看他也吃了一惊:“这,这是刻蚀工艺?”

只见第一张纸上写着:

“采用部分或完全电离的中性气体,通常包括电子、正负离子、中性粒子(包括激发态和基态的中性粒子)、自由基以及光子等……”

“这些气体在以等离子体形式存在时,具备两个特点,一是化学活性比常态下更加活跃……”

“二是可以利用电场对等离子体进行引导和加速,使其具备一定的能量,当其轰击被刻蚀物的表面时,会将被刻蚀物材料的原子击出,从而达到利用物理上的能量转移来实现刻蚀的目的。”

下面还有详细的图例展示。

三人将稿纸一张张摊开,发现上面不仅记载了刻蚀工艺的流程,甚至连离注入都写了小半。

虽然不能说完全照着做就能实现刻蚀工艺和离子注入工艺,但是几乎一下子把他们需要验证的错误选项排除了大半。

他们的目光不由陷入呆滞当中。

不多时,回去休息的专家和教授们回到实验室,看见三人的表情,好奇地看向稿纸,目光同样变得呆滞起来。

“这,这到底是谁写的?”良久,陆骞嘴里终于憋出一个字。

他们苦熬了许久都没搞出来,结果过了一晚上,竟然有人直接给弄出来了!

黄新华看着稿纸上的笔记,目光微微一动,道:“你们不觉得,这个笔迹,还有这每句开头一定要加我推断的格式,很像一个人吗?”

这么一说,答案呼之欲出,在场的专家教授嘴里都不由脱口而出:“李暮!”

黄新华微微颔首,道:“恐怕也只有他,才能有这个天分。”

闻言,顾鸣、陆骞等一众教授不由连连点头。

“既然有了这份方案,我觉得,我们离攻克集成电路的四项关键工艺已经很近了。”黄新华深吸一口气,环视了实验室内的所有教授一眼。

他继续道:“我认为,我们有必要和半导体研究所那边联系,进行联合实验。”

……

半导体研究所。

王绶觉正在实验室内,检查最近的研究进度。

有着李暮方案的帮助,他们所有研究几乎都在这个大框架下进行。

起先他还有点担心,万一走错路,可能会浪费大量的人力物力和财力。

但越研究到后面,他越发现,前方


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