“我……光刻机研发机构在哪里？”
“首都。”
“那我们直接去首都吧。”
林本坚被吓住了！生怕这里也有人杀他，毕竟魔都是国际化的大都市，人员复杂，首都那边，安保措施更严格，他应该更安全。
“好，我们已经准备了飞机，带您回首都！”
从美国到东方，用了足足二十天，从魔都到首都，只用了三四个小时，看到来阳集团给自己包机，林本坚的心中升起了莫名的感动。
第二天，来光。
“来，让我们用热烈的掌声，欢迎林博士的到来！”徐教授第一个鼓掌。
“徐教授，当年，你在光刻机上有很深的造诣，硅谷这边，还有岛国那边，有很多光刻机专家，对你都是赞不绝口，听说你后来转行研究光盘，大家伙都很失望，你要是到硅谷……”
林本坚是光刻机领域的技术大能，他此时，不知觉中，就是一幅高高在上的态度，俯瞰芸芸众生一样。
徐教授笑了笑：“我生在这里，长在这里，绝对不会把自己知识财富，贡献给西方的，还好，我们有了来阳集团，对了，我们还是说技术吧，我给您介绍一下我们的计划。”
“好，让我听听你们距离世界先进水平还有多少年的差距。”
“目前，华清大学高能物理研究所已经能生产ArF激光器，光学专业那边已经能磨制相关的镜头，自动化专业那边已经能完成……”
林本坚睁大了眼睛：“这么说，你们已经能制造193纳米光刻机了？”
“是的，我们计划在一年之内，完成样机调试，三年内，形成产业化，这样可以将我们国产的芯片技术推进到90纳米。”
现在只能生产0.18微米芯片，也就是180纳米，这主要还是光刻机的限制，数量不够，如果多次投影曝光的话，会严重占用产能，等以后，相关光刻机大量投产，利用这种光刻机，就能继续推进工艺进展！
130纳米、90纳米……这些工艺制程都能攻克！
当然，光刻机只是其中一步，其他的工艺，都需要中芯国际来研究，这个不是说句话就能完成的。
“那之后的技术路线呢？”
“我们计划使用浸润式光刻机技术，通过在镜片和光源之间通入水，来让光源缩短到134纳米，解决65纳米和45纳米制程的需求。”
林本坚瞬间一喜：“你们也想要用浸润式方案？”
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